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产品分类
产品信息
简 介
5635型MP离子风棒，是对应用在先端半导体制造工程等100nm以下的微小型颗料除静电器。
特点：
Ø 采用在世界上*的电*材料单晶硅的优势，避免*颗料特性的电*材料的*属污染的风险。
Ø 通过*的MP（脉冲调制）方式，可以*的发挥离子除电性能。
Ø 平衡的电位，即使是在距100mm的距离也可用使用的特性及静电杆长且离子平衡度好。
Ø 通过智能控制电路，可自动管理离子发生状态及离子平衡度。
Ø 1/4圈可以拆卸更换电*，有助于减少维护工时。
Ø 电位波动小的MP方式的特性，简化了组装。另外，电位波动小可以保持离子平衡度在管理的基准内。
Ø 设定了适合半导体前工序EFEM用的除静电棒长度。
Ø 内置24V DC驱动控制器的小巧紧湊型设计。
Ø 可用于**网络。
产 品 规 格
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输入电压 |
24V DC + / -10％ |
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输出电压 |
*大可调至约13.5kv PP |
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安装距离 |
100毫米?1000毫米（无空气净化） |
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离子生成方式 |
电晕放电法 PM（脉冲变调）方式 变动频率 1 ～ 33 Hz |
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离子平衡度 |
自动平衡调节方法 |
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电* |
单晶硅电* 可更换 |
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吹气 |
清洁干燥的空气或氮气 |
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*大气压力 |
310Kpa |
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臭氧产生量 |
<0.05PPM（24时总值） |
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信号输出 |
报警IO 电*输出 |
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尺寸 |
高78mm*宽34mm*t长（如下值） 450/600/850/1000/1150/1300/1450/1600/1750 / 1900/2050/2200/2350Mm |
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外观 |
ABS树脂 |