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产品分类
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产品信息
测量下限：12ppb (1.4ppb惰性氣體) 外形尺寸（高x宽x深）：8.75″ x 8.5″ x 22.5″
灵敏度: 6 ppb 氨 (0.7ppb惰性氣體) 重量: 15千克（33磅）
精度(取大值)：读数的±4%或±6ppb (0.07ppb)
响应速度: 95%的响应 少于3分钟
环境温度：+10°C ~ +40°C
存储温度：10°C ~ +50°C
所用材料: 316L 不锈钢（可选哈氏合金） 压力：10 125 psig
接液部件: 10 Ra 流量：可达1,000 sccm
气体的连接：1/4” VCR 入气口及出气口 气体样本: 氨、砷化氫、膦、或惰性氣體
泄漏测试：< 2×10-8mbar･l/min 气体温度：低于60°C